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近年來,隨著物聯網(IOT)的蓬勃發展以及工業4.0(或生產力4.0)的發展趨勢,MEMS 應用於相關感測器以及致動器的熱潮讓MEMS產業在未來有著強大的勢能,前景一片看好。

此書我們將對MEMS 進行基本的介紹。第一章引領讀者了解MEMS架構,接著再介紹MEMS於各種不同裝置的應用與COMSOL Multiphysics範例實作,讓讀者能從案例中獲得更深刻的體會。

第二章將介紹壓電微樑致動器與預應力微鏡案例;第三章將介紹電容式與電阻式壓力感應器;第四章將介紹微流體方面案例;第五章將介紹COMSOL新功能APP模擬器。

價格:450元