200908061823263406_20160406151214
  • Description

 

 

MEMSolver是強大且易於設計及分析的微機電軟體,適合給研究人員、工程師和學校師生從事微機電領域的研究與學習

MEMSolver模擬應用包含有:

【機構】

結構

  • 樑(懸臂樑、彎樑、扭力桿等等)
  • 薄膜(矩形、圓形等等)

振動

  • 自由振動(薄膜、阻尼及各種樑)
  • 受力振動(固定力、簡諧力等等)

阻尼

  • 擠壓薄膜(具質量、樑)
  • 滑移薄膜(具質量)

微流體

  • 微流道(無滑動流、滑動流)
  • 擴散(擴張、混合、分離)

【感測器】

  • 壓阻式(矩形、圓形薄膜等等)
  • 電容式(靜態、步階訊號、脈衝等等)
  • 壓電式(慣性質塊、薄膜)

【致動器】

  • 靜電致動(各種運動方向)
  • 熱致動(雙金屬片型、雙壓電晶體型)
  • 壓電致動(縱向、橫向)

【資料分析】

  • 各種物理量單位轉換
  • 晶粒計算器
  • 材料庫屬性

【製程 

  • 平版印刷(旋轉塗佈)
  • 氧化(氧化時間)
  • 擴散(擴散、擴散光罩)
  • 佈植(佈植、佈植光罩)
  • 薄膜沉積(薄膜應力、金屬蒸發、多晶矽)
  • 濕式蝕刻(氫氧化鉀、磷酸、緩衝氫氟酸