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COMSOL Multiphysics ® 5.2a針對電漿模組的用戶引入了經過重新調整的電漿物理場介面,提高了模型設置和工作流程的效率,包括在電漿模擬中無縫地耦合多物理場介面,以及對於幾何復雜的電極新增的域終端特徵。

 

重新調整電漿物理場介面

COMSOL Multiphysics ® 5.2a版本中,直流放電電容耦合電漿介面已替換成名為電漿的新介面。這個新增的電漿介面包含直流放電電容耦合電漿介面的所有功能。當打開原有的包含直流放電電容耦合電漿介面的模型時,將自動轉換為新的電漿介面。此外,為了提供向下兼容性,原始介面中的標籤名稱標記仍然保持不變。

感應耦合電漿微波電漿介面已分別調整為電漿磁場介面,以及電漿電磁波,頻域介面加上多物理場介面的組合形式。下表總結了這些變化。

舊接口名稱(V5.2a 之前) 新接口名稱

直流放電

等離子體

電容耦合等離子體

等離子體

感應耦合等離子體

  • 等離子體
  • 磁場
  • 感應耦合等離子體(多物理場耦合)

微波等離子體

  • 等離子體
  • 電磁波,頻域
  • 微波等離子體(多物理場耦合)

感應耦合電漿微波電漿介面的高頻電磁場和電漿之間的耦合現在透過使用多物理場特徵來實現。透過使用冷電漿近似,電漿電導耦合多物理場介面基於電子密度、碰撞頻率和角頻率來計算磁場電磁波,頻域介面所需的導電率。電子熱源多物理場介面基於電漿導電率和電場來計算電子的碰撞發熱。

例如,下圖顯示在模型嚮導中添加微波電漿介面時的情況:

添加新的微波等離子體接口之後的“模型嚮導”。

添加新的微波等離子體接口之後的“模型嚮導”。

同樣,下圖顯示添加電感耦合等離子體接口時的情況:

添加新的電感耦合等離子體接口之後的“模型嚮導”。

向下兼容性

舊版本的感應耦合電漿微波電漿介面仍可以打開、編輯和求解。當打開這種模型時,將顯示警告,提示介面已作廢,最終將被移除。

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域終端

現在您可以在電流靜電物理場介面中的域級別使用域終端。這便於處理幾何復雜的電極,如果在邊界級別使用終端,將會涉及很大數量的邊界選擇。終端域內的未知電位將不會被求解,而是被一個變量所替代。這種處理方法在對透過幾何來表示有限厚度的電極建模時非常有用。

AC/DC“App 庫”中的可調式電容模型更新為使用新增的域終端,從需要選擇50 多個邊界減少為只需選擇一個域。

AC/DC”應用資料庫中的可調式電容模型更新為使用新增的域終端,從需要選擇50 多個邊界減少為只需選擇一個域。