仿真結果顯示了諧振時表面聲波(SAW)的垂直位移和位移場。
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G. Potter 
SUNY Albany, NY, USA

微流控器件是許多傳感器的關鍵,例如流量傳感器以及用於醫學診斷的傳感器。但由於其尺寸很小,使得流體的混合與抽取變得極具挑戰性。作為傳統驅動方法的替代方法,表面聲波(SAW)可用來產生流體流動。在SUNY Albany 和SEMATECH 合作中,研究人員創建了模型並模擬了集成叉指換能器(IDT)結構,以及壓電基片結構和SAM 產生的諧波振動。他們使用COMSOL Multiphysics 軟件對影響器件幾何優化的因素進行了研究,比如聲流響應和諧振頻率。他們通過仿真結果,證實了SAW 的垂直位移越大對應的流動速度越高,而且他們的仿真結果與實驗測量相吻合。