• Description

微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)是一種將微電子技術與機械工程融合在一起的工業技術,由尺寸為1100微米的元件所組成的微機電設備尺寸約為20微米到1毫米之間。微機電系統技術已經發展了40餘年,應用面包含電容式麥克風、體感遊戲機三軸加速度計、噴墨晶片、投影機微反射鏡、智慧型手機氣壓感測器、消防系統水壓感測器、微胞製藥、人體穿戴式壓力感測器..等等,其相關產品市場以每年17%穩定長,2023年整體產值將突破300億美元。

 

本書使用COMSOL Multiphysics模擬軟體,針對微機電系統MEMS主流應用面-致動器、感測器和微流體應用分別進行案例分析,讓讀者跟著步驟學會操作流程和輸出模擬成果,最末章節選用二個範例製作COMSOL Multiphysics App,圖形化模擬結果視窗可快速清楚地了解研究議題和分析結果。

尚未開賣

目錄

 

第一章: 緒論

1-1 MEMS發展現況

1-2 MEMS 簡介

1-3 微流體簡介

1-4 初探有限元素法

1-5 COMSOL Multiphysics有限元素軟體

1-6 COMSOL Multiphysics MEMS模組介紹

 

第二章:MEMS模擬分析案例-致動器

2-1 MEMS致動器簡介

2-2 壓電微樑致動器

2-3 預應力微鏡(micro-mirror)分析

 

第三章:MEMS模擬分析案例-感測器

3-1 MEMS感測器簡介

3-2電容式壓力感測器

3-3壓阻式壓力感測器

 

第四章:MEMS模擬分析案例-微流體

4-1 微流體元件簡介

4-2 星形微流道分析

4-3 微流體電泳電動閥

 

第五章:COMSOL ServerCOMSOL APP模擬器

5-1 COMSOL Server漫步在雲端

5-2 COMSOL APP模擬器

5-3 COMSOL APP專案製作