如何在微米級的
3D IC 異質整合結構中,精準預測極高功率密度下的散熱路徑,並同步解決因各層材料熱膨脹係數(CTE)不匹配所引發的結構失效風險?
面對 BEOL (後端製程) 中複雜的 ILD (層間介電質) 與 IMD (金屬間介電層) 堆疊,以及低熱導率 Low-k 材料所形成的熱阻挑戰,COMSOL Multiphysics 提供了一套全方位的多物理量耦合解決方案。軟體能精確模擬熱流如何穿過高密度的 Via
(通孔) 與金屬互連線,並透過考慮 Metal Density (金屬密度) 的等效建模技術,計算出精確的結溫分佈。更重要的是,COMSOL 能將熱場計算結果直接轉化為結構負載,藉此量化分析
Copper Protrusion (銅突起) 應力、Interfacial Delamination (界面剝離) 以及整體封裝的 Warpage
(翹曲) 變形。透過這種高度整合的模擬流程,工程師得以在虛擬環境中預先排除熱力失效隱患,優化設計參數,確保 3D 封裝元件在高效能運算下的長期可靠度。
COMSOL Multiphysics全面整合了 NVIDIA
CUDA® 直接稀疏求解器 (cuDSS),顯著強化了 GPU 加速 能力,讓包含熱管理與結構力學在內的單物理及多物理場模擬,在運算速度上可獲得高達 5 倍以上的提升,極大縮短了針對 3D IC 複雜模型進行設計迭代的時間。此外,引入了更強大的
AI 輔助開發環境,內建的 Chatbot 視窗可直接連結 GPT-5、Google Gemini 或 DeepSeek 等主流大型語言模型(LLM),並具備「模型感知」能力,能針對當下的 BEOL 或 TSV 模擬情境提供精確的建模建議與文件檢索,讓工程師能結合 AI 智慧與高效算力,更從容地應對次世代半導體封裝的研發挑戰。
課程效益:
• 了解並學習結構模擬之核心概念與實務應用
• 掌握最新版本 COMSOL 6.4 的重點功能與技術特色
建議參加人員:
• 工研院、中研院、中科院等相關研究單位研究人員
• 各大專院校理工相關科系教師、研究人員與研究生