COMSOL Multiphysics® 微機電與微流體有限元素分析

近年來，隨著物聯網(IOT)的蓬勃發展以及工業4.0(或生產力4.0)的發展趨勢，MEMS 應用於相關感測器以及致動器的熱潮讓MEMS產業在未來有著強大的勢能，前景一片看好。

此書我們將對MEMS 進行基本的介紹。第一章引領讀者了解MEMS架構，接著再介紹MEMS於各種不同裝置的應用與COMSOL Multiphysics^®範例實作，讓讀者能從案例中獲得更深刻的體會。

第二章將介紹壓電微樑致動器與預應力微鏡案例；第三章將介紹電容式與電阻式壓力感應器；第四章將介紹微流體方面案例；第五章將介紹COMSOL^®新功能APP模擬器。

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目錄

第一章：緒論
1-1MEMS發展現況
1-2MEMS簡介
1-3微流體簡介
1-4初探有限元素法
1-5COMSOLMultiphysics^®有限元素軟體

第二章：MEMS模擬分析案例-致動器
2-1MEMS致動器簡介
2-2壓電微樑致動器
2-3預應力微鏡(micro-mirror)分析

第三章：MEMS模擬分析案例-感測器
3-1MEMS感測器簡介
3-2電容式壓力感測器
3-3壓阻式壓力感測器

第四章：MEMS模擬分析案例-微流體
4-1微流體元件簡介
4-2星形微流道分析
4-3微流體電泳電動閥

第五章：COMSOLServer漫步在雲端
5-1COMSOLAPP模擬器與COMSOLServer™
5-2COMSOLAPP模擬器