COMSOL Multiphysics為一套廣泛應用在各領域的多重物理量(Multiphysics)有限元素分析(FEA)軟體,目前最新版為6.1版,目前已在全國各理工學院、工業界和各級研究單位累積廣大的忠實用戶,軟體本身提供單一操作介面以及物理域彈性耦合的設定方法,能在短時間內熟悉軟體建模,有效幫助問題的解決。
本次課程針對COMSOL Multiphysics在表面電漿介紹上的應用進行介紹,表面電漿作為曝光顯影技術在半導體製程中佔有舉足輕重的地位,其價值為突破傳統光學中的繞射極限,可提供奈米級表面電漿波作為曝光顯影的電磁波,本次研討會將帶領學員了解如何使用COMSOL
Multiphysics 進行表面電漿相關的研究。
並針對COMSOL APP(UI介面加FEM Model)做應用層面的介紹,包含COMSOL APP的實機操作,及COMSOL Compiler的操作介紹,讓學員能快速了解COMSOL APP在模擬開發上的實用性。