此外,UltraSpeed V-模組支援創新的ViALUX Direct Link Sensor (DLS) 概念,使其能夠無縫整合到現有系統中。V-模組也支持不同的影像感測器,並提供應用程式介面(API)作為動態鏈接庫(DLL),便於快速進行開發工作。
應用領域與技術優勢
◾ 無光罩微影(Maskless
Lithography)
- 可取代傳統光罩製程,直接將圖樣動態投影至光阻表面
- 簡化設計迭代流程,適用於高密度線路、封裝製程、微圖樣成像
◾ 灰階微影與微結構製造
- 支援 sub‑micron 等級解析度與灰階圖樣
- 適合製作微透鏡陣列、3D 光柵、自由曲面光學結構等元件