• Description

近年來,隨著物聯網(IOT)的蓬勃發展以及工業4.0(或生產力4.0)的發展趨勢,MEMS 應用於相關感測器以及致動器的熱潮讓MEMS產業在未來有著強大的勢能,前景一片看好。

此書我們將對MEMS 進行基本的介紹。第一章引領讀者了解MEMS架構,接著再介紹MEMS於各種不同裝置的應用與COMSOL Multiphysics®範例實作,讓讀者能從案例中獲得更深刻的體會。

第二章將介紹壓電微樑致動器與預應力微鏡案例;第三章將介紹電容式與電阻式壓力感應器;第四章將介紹微流體方面案例;第五章將介紹COMSOL®新功能APP模擬器。

 

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目錄


第一章:緒論
1-1MEMS
發展現況
1-2MEMS
簡介
1-3
微流體簡介
1-4
初探有限元素法
1-5COMSOLMultiphysics®
有限元素軟體

 

第二章:MEMS模擬分析案例-致動器
2-1MEMS
致動器簡介
2-2
壓電微樑致動器
2-3
預應力微鏡(micro-mirror)分析

 

第三章:MEMS模擬分析案例-感測器
3-1MEMS
感測器簡介
3-2
電容式壓力感測器
3-3
壓阻式壓力感測器

 

第四章:MEMS模擬分析案例-微流體
4-1
微流體元件簡介
4-2
星形微流道分析
4-3
微流體電泳電動閥

 

第五章:COMSOLServer漫步在雲端
5-1COMSOLAPP
模擬器與COMSOLServer

5-2COMSOLAPP
模擬器