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歡迎從事真空、低壓流場模擬,以及半導體設備產業研發的各界先進參加

日期 : 2022/05/19 (四) 13:00~16:30 


一般學員:$1,000 /(評估中客戶可享優惠)

學生/老師/維護期間內客戶:免費/


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半導體設備如離子植入 (Ion Implantation) 機、超高真空化學氣相沉積系統 (UHV/CVD) 等真空系統,可以透過模擬來預測低壓氣體的流動行為,加強對物理現象的理解,降低原型設計成本並加快開發速度。在低壓條件下,氣體分子的平均自由路徑與系統的大小接近,此時氣體的稀薄狀態變得非常重要,COMSOL Multiphysics的分子流 (Molecular Flow) 模組是專為稀薄氣體所開發的模組,模擬自由分子流動,以及表面上的分子通量、壓力、數密度以及熱通量,並可以根據周圍表面上的分子通量計算區域、表面、邊和點上的數密度。

本次課程針對多重物理量耦合軟體COMSOL Multiphysics在分子流模組的適用範圍做通盤性的介紹,並從基礎案例的實作做出發,進一步探索在半導體設備的應用。歡迎從事真空、低壓流場模擬,以及半導體設備產業研發的各界先進參加與指導。


 

 

13:10-13:30

報到

13:30-14:30

COMSOL稀薄氣體模擬

分子流模組的計算原理與邊界條件

14:30-16:00

分子流驗證模擬實作

半導體腔體流場案例實作

16:00-16:30

問題與討論

課程效益

稀薄氣體模擬

真空與低壓環境流場模擬

研究半導體設備內部流場

 

建議參加人員

從事電子半導體設備的業界與各研究相關單位

工研院、中研院、中科院等相關研究單位

學校理工相關科系

 

參加辦法

▲活動聯絡人:皮托科技/行銷部 

▲電話:04-7364000

e-mailinfo@mail.pitotech.com.tw  

▲未收到報名成功通知者,請主動與皮托科技聯絡,謝謝!

▲如資料不全或不實,即為無效報名。

▲本公司享有審核報名資料、核準通過之一切權利。